仪器名称：扫描俄歇微探针（SAM）； 基本功能： 　　（1）可进行样品表面的微区选点分 　　　 　析（包括点分析，线分析和面 　　　 　分析）； 　　（2）可进行深度分析； 　　（3）化学价态研究 用途：纳米薄膜材料，微电子材料的表 　　　　 面和界面研究及摩擦化学研究。